AP1200 系列 高純度用 一段式減壓閥 大流量 膜片閥芯一體構造 APTech

●適用于半導體產業等高純度的氣體供給

●閥體材質: SUS316L 二次熔煉或SUS316L

●接氣部電解拋光處理

●外部間隙密封構造

適用于高純度工藝氣體的供給氣路

● 對應進口側高壓　最大24.1MPa

● 流量范圍　標準規格：＜3

減壓閥：高純度工藝氣體適用，適合半導體產業等要求高純度氣體供給的產業。
適用于高純度工藝氣體的供給氣路● 對應進口側高壓　最大24.1MPa● 流量范圍　標準規格：＜30L/min（nor）　　　　　HF規格（可選項）：＜120L/min（nor）● 主體材質　SUS316L二次熔煉● 需抗腐蝕的場合，內部材質也可是Ni-Cr-Mo合金規格

1）進口側壓力最大可使用到15.9MPa。但是超過6.9MPa時，由于受壓力特性的影響，最大設定壓力會變得比1MPa低。最大設定壓力與進口側壓力成比例變化，但進口側壓力15.9MPa時的最大設定壓力大概是0.89MPa。注2）閥座材質是聚酰亞胺的場合為－10~90℃。注3）用鐘罩法（氦氣進口側壓力10.5MPa）測定。注4）用鐘罩法（氦氣進口側壓力7MPa）測定。注5）選擇面板安裝可選項的場合，為通孔。注6）重量是大致值，隨配管連接方式或可選項等而有所不同。